PTI45400 – Microelectromechanical systems (MEMS)

Module
Microelectromechanical systems (MEMS)
Mikrosystemtechnik
Module number
PTI45400
Version: 1
Faculty
Physikalische Technik / Informatik
Level
Bachelor/Diploma
Duration
1 Semester
Semester
Winter semester
Module supervisor

Prof. Dr. Daniel Schondelmaier
Daniel.Schondelmaier(at)fh-zwickau.de

Lecturer(s)

Prof. Dr. Daniel Schondelmaier
Daniel.Schondelmaier(at)fh-zwickau.de

Course language(s)

English - 20.00%
in "Mikrosystemtechnik"

German - 80.00%
in "Mikrosystemtechnik"

ECTS credits

5.00 credits

Workload

150 hours

Courses

4.00 SCH (1.00 SCH Internship | 3.00 SCH Lecture with integrated exercise / seminar-lecture)

Self-study time

90.00 hours
25.00 hours Course preparation - Mikrosystemtechnik
25.00 hours Vorbereitung Praktikum - Mikrosystemtechnik
25.00 hours Vorbereitung Seminarvortrag - Mikrosystemtechnik
15.00 hours Self-study - Mikrosystemtechnik

Pre-examination(s)
None
Examination(s)

schriftliche Prüfungsleistung
Module examination | Examination time: 90 min | Weighting: 33.33%
in "Mikrosystemtechnik"

alternative Prüfungsleistung - Praktikum und Belegarbeit
Module examination | Weighting: 66.67%
in "Mikrosystemtechnik"

Media type
No information
Instruction content/structure
  • Einführung in die MST - Geschichte und Perspektiven, Skalen, Begriffsbildung
  • Werkstoffe in der MST - Silizium, Kunststoffe, Gläser
  • Labore für die MST - Reinräume, Produktionsstätten
  • Herstellungsverfahren - Vakuumtechnologie, Dünnschichtechnologie, Lithographieverfahren, Ätztechniken, Replikationstechniken, Aufbau- und  Verbindungstechnik
  • Mess- und Prüfverfahren
  • Anwendungen und Praxis
Qualification objectives

(I)    Die Studierenden erwerben Kompetenzen auf dem Gebiet Mikrotechnik zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Fertigungsprozesse. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basistechnologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben und Verständniskontrollen überprüft und gefestigt.

(II)   Die Studierenden lernen in diesem Modul, sich in aktuelle wissenschaftlich technische Themen einzuarbeiten und diese in Form einer Präsentation von ca. 30 Minuten Dauer vorzustellen.

(III)  Die Studierenden sollen übliche Herstellungsverfahren in der Mikrotechnologie kennenlernen und anwenden. Die Studierenden erwerben die entsprechenden Fähigkeiten in der experimentellen Arbeit und in der Auswertung der Ergebnisse. Studierende erwerben die Kompetenz im Umgang mit elektronischen Laborbüchern.  

Special admission requirements

keine

Recommended prerequisites
No information
Continuation options
No information
Literature
  • Ehrfeld, W., & Bähr, J. (2002). Handbuch Mikrotechnik. Hanser
  • Mescheder, U. (2010). Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen. Teubner
  • Globisch, S. (2011). Lehrbuch Mikrotechnologie: Für Ausbildung, Studium und Weiterbildung. Hanser
  • Büttgenbach, S. (2016). Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip. Springer
  • Gerlach, G., & Dötzel, W. (2006). Einführung in die Mikrosystemtechnik. Hanser 
Notes
No information