PTI02270 – Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnik

Modul
Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnik
Vacuum, plasma and thin film technology
Modulnummer
PTI02270
Version: 1
Fakultät
Physikalische Technik / Informatik
Niveau
Bachelor
Dauer
1 Semester
Turnus
Sommersemester
Modulverantwortliche/-r

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Lehrsprache(n)

Deutsch
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

ECTS-Credits

8.00 Credits

Workload

240 Stunden

Lehrveranstaltungen

7.00 SWS (1.00 SWS Praktikum | 6.00 SWS Vorlesung mit integr. Übung / seminaristische Vorlesung)

Selbststudienzeit

135.00 Stunden
135.00 Stunden Selbststudium - Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik

Prüfungsvorleistung(en)

Praktikumstestat
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

Prüfungsleistung(en)

mündliche Prüfungsleistung
Modulprüfung | Prüfungsdauer: 30 min | Wichtung: 100%
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

Medienform
Keine Angabe
Lehrinhalte/Gliederung

Lehreinheit Plasmatechnik: DC-Niederdruckplasmen, Kenngrößen und Eigenschaften von Plasmen, kinetische Koeffizienten der Ladungsträger, RF- und Mikrowellenplasmen, Erzeugung und Anwendung von Elektronen- und Ionenstrahlen, Plasmaoberflächenbehandlung, Plasmalichttechnik

Lehreinheit Dünnschichttechnik: Aufdampfen im Hochvakuum, Plasmagestützte Schichtabscheidung, Ionenzerstäuben von Festkörpern, Ionenstrahlgestützte Verfahren, Chemische Abscheidung aus der Gasphase, Schichtmesstechnik, Ausgewählte Dünnschichtanwendungen

Lehreinheit Vakuumtechnik: Ideale und reale Gase, Phasenübergänge, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkungen, Vakuumerzeugung und Vakuummessung in den verschiedenen Druckbereichen, Evakuierungsprozess

Praktikumstestat: Praktikumsversuche zur Plasma- und Dünnschichttechnik

Qualifikationsziele

Der Studierende erlangt Grundkenntnisse über die Erzeugung und Anwendung energiereicher Teilchen, die er für das Verständnis zahlreicher Technologien (Mikrosystemtechnik, Dünnschichttechnologie, Plasmatechnologie, Lichttechnik, Oberflächenanalytik usw.) benötigt. Durch diese Kenntnisse ist er im besonderen Maße befähigt, in FuE-Teams sowie in Produktionsbereichen an der Umsetzung neuer Verfahren und Applikationen im Hochtechnologiebereich mitzuwirken. Weiterhin erhält er Einblicke in die verschiedenen Methoden der Herstellung und Anwendung dünner Schichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen, Bauteilen und Gebrauchsgegenständen sowie der Erzeugung spezieller Strukturen in der Mikro- und Nanotechnologie. Im Praktikum trainiert er die Teamarbeit und erlangt Fertigkeiten und praktische Erfahrungen im Umgang mit moderner Anlagentechnik zur Schichtabscheidung und im Umgang mit Methoden der Schichtcharakterisierung.

Besondere Zulassungsvoraussetzung

keine

Empfohlene Voraussetzungen

Grundkenntnisse zur Experimentalphysik

Fortsetzungsmöglichkeiten
Keine Angabe
Literatur

Kienel/Röhl/Frey, Vakuumbeschichtung 1 bis 5, VDI-Verlag, 1993-95

Franz, Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen, Springer-Verlag, 1994

Hinweise
Keine Angabe