ELT01110 – Mikrosystemtechnik

Modul

Mikrosystemtechnik
Microsystems Technology (MST/MEMS)

Modulnummer

ELT01110
Version: 1

Fakultät

Elektrotechnik

Niveau

Bachelor/Diplom

Dauer

1 Semester

Turnus

Sommer- und Wintersemester

Modulverantwortliche/-r

Prof. Dr. Robert Täschner
Robert.Taeschner(at)fh-zwickau.de

Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Jürgen Grimm
J.Grimm(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Mikrosystemtechnik"

Prof. Dr. Robert Täschner
Robert.Taeschner(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Mikrosystemtechnik"

Lehrsprache(n)

Deutsch - 80.00%
in "Mikrosystemtechnik"

Englisch - 20.00%
in "Mikrosystemtechnik"

ECTS-Credits

4.00 Credits

Workload

120 Stunden

Lehrveranstaltungen

3.00 SWS (3.00 SWS Vorlesung mit integr. Übung / seminaristische Vorlesung)

Selbststudienzeit

75.00 Stunden
25.00 Stunden Recherchearbeit - Mikrosystemtechnik
50.00 Stunden Selbststudium - Mikrosystemtechnik

Prüfungsvorleistung(en)

Keine

Prüfungsleistung(en)

schriftliche Prüfungsleistung
Modulprüfung | Prüfungsdauer: 90 min | Wichtung: 100%
in "Mikrosystemtechnik"

Medienform

Keine Angabe

Lehrinhalte/Gliederung

Bedeutung und Inhalte der Mikrosystemtechnik; Werkstoffe der Mikrosystemtechnik, Silizium, Technologie: Reinraum/Reinraumtechnik, Notwendigkeit der Reinraumtechnik, Klassifizierung von Reinräumen, Aufbau von Reinräumen, Partikelkontamination; Einführung in technologische Verfahren in der Mikrosystemtechnik bzw. Halbleiterindustrie: Lithographie, Dünnschichttechnik, Dotierung, Ätztechnik, LIGA, Aufbau- und Verbindungstechnik Anforderungen an Mikrosysteme, messtechnische Eigenschaften von Sensor- und Mikrosystemen, Differentialstruktur bei der Messwertaufnahme, Anwendungen der Mikrosystemtechnik: Grundsätzliches Drucksensoren mit piezoresistiver Signalwandlung, Beschleunigungssensorik: Prinzip der Beschleunigungsmessung, Formen der Signalwandlung, Ausführungsformen, Herstellung von Druck- und Beschleunigungssensoren

Qualifikationsziele

Die Studierenden erlangen wissenschaftlich-technische Grundkenntnisse auf dem Gebiet der Mikrotechnologie zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basistechnologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Kenntnisse werden an folgenden Beispielen vertieft: Drucksensoren (Si-Volumenmikromechanik), Beschleunigungs- und Drehratensensoren (Si-Oberflächenmikromechanik) und thermischen Beschleunigungssensoren (CMOS-Technologie). Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben, Verständniskontrollen und anwendungsorientierte Prozessfragestellungen überprüft und gefestigt.

Besondere Zulassungsvoraussetzung

keine

Empfohlene Voraussetzungen

Keine Angabe

Fortsetzungsmöglichkeiten

Keine Angabe

Literatur

Literatur zum Selbststudium: Mikrosystemtechnik. Konzepte und Anwendungen, Ulrich Mescheder, 2. Auflage, Stuttgart 2004

Hinweise

Keine Angabe

Zuordnung zum Curriculum

049 Elektrotechnik - Diplom 2014