Bedeutung und Inhalte der Mikrosystemtechnik; Werkstoffe der Mikrosystemtechnik, Silizium, Technologie: Reinraum/Reinraumtechnik, Notwendigkeit der Reinraumtechnik, Klassifizierung von Reinräumen, Aufbau von Reinräumen, Partikelkontamination; Einführung in technologische Verfahren in der Mikrosystemtechnik bzw. Halbleiterindustrie: Lithographie, Dünnschichttechnik, Dotierung, Ätztechnik, LIGA, Aufbau- und Verbindungstechnik Anforderungen an Mikrosysteme, messtechnische Eigenschaften von Sensor- und Mikrosystemen, Differentialstruktur bei der Messwertaufnahme, Anwendungen der Mikrosystemtechnik: Grundsätzliches Drucksensoren mit piezoresistiver Signalwandlung, Beschleunigungssensorik: Prinzip der Beschleunigungsmessung, Formen der Signalwandlung, Ausführungsformen, Herstellung von Druck- und Beschleunigungssensoren