Im ersten Teil des Moduls erlangen die Studierenden wissenschaftlich-technische Grundkenntnisse auf dem Gebiet der Mikrotechnologie zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basis-technologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Kenntnisse werden an folgenden Bei-spielen vertieft: Drucksensoren (Si-Volumenmikromechanik), Beschleunigungs- und Drehraten-sensoren (Si-Oberflächenmikromechanik) und thermischen Beschleunigungssensoren. Im zweiten Teil werden die Studierenden befähigt, sich in Themen der Halbleiterfertigung/ Fertigungs-verfahren einzuarbeiten und diese in Form einer Präsentation von 45 min Dauer vorzustellen und erarbeiten als Projekt ein Handout zum Seminar. Die Lehrinhalte werden durch praktisches Arbeiten im Reinraum vertieft und gefestigt. Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben, Verständniskontrollen und anwendungsorientierte Prozessfragestellungen überprüft und gefestigt.

Im ersten Teil des Moduls erlangen die Studierenden wissenschaftlich-technische Grundkenntnisse auf dem Gebiet der Mikrotechnologie zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basis-technologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Kenntnisse werden an folgenden Bei-spielen vertieft: Drucksensoren (Si-Volumenmikromechanik), Beschleunigungs- und Drehraten-sensoren (Si-Oberflächenmikromechanik) und thermischen Beschleunigungssensoren. Im zweiten Teil werden die Studierenden befähigt, sich in Themen der Halbleiterfertigung/ Fertigungs-verfahren einzuarbeiten und diese in Form einer Präsentation von 45 min Dauer vorzustellen und erarbeiten als Projekt ein Handout zum Seminar. Die Lehrinhalte werden durch praktisches Arbeiten im Reinraum vertieft und gefestigt. Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben, Verständniskontrollen und anwendungsorientierte Prozessfragestellungen überprüft und gefestigt.