PTI45400 – Mikrosystemtechnik

Modul
Mikrosystemtechnik
Microelectromechanical systems (MEMS)
Modulnummer
PTI45400
Version: 1
Fakultät
Physikalische Technik / Informatik
Niveau
Bachelor/Diplom
Dauer
1 Semester
Turnus
Wintersemester
Modulverantwortliche/-r

Prof. Dr. Daniel Schondelmaier
Daniel.Schondelmaier(at)fh-zwickau.de

Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Daniel Schondelmaier
Daniel.Schondelmaier(at)fh-zwickau.de

Lehrsprache(n)

Englisch - 20.00%
in "Mikrosystemtechnik"

Deutsch - 80.00%
in "Mikrosystemtechnik"

ECTS-Credits

5.00 Credits

Workload

150 Stunden

Lehrveranstaltungen

4.00 SWS (1.00 SWS Praktikum | 3.00 SWS Vorlesung mit integr. Übung / seminaristische Vorlesung)

Selbststudienzeit

90.00 Stunden
25.00 Stunden Vorbereitung Prüfung - Mikrosystemtechnik
25.00 Stunden Vorbereitung Praktikum - Mikrosystemtechnik
25.00 Stunden Vorbereitung Seminarvortrag - Mikrosystemtechnik
15.00 Stunden Selbststudium - Mikrosystemtechnik

Prüfungsvorleistung(en)
Keine
Prüfungsleistung(en)

schriftliche Prüfungsleistung
Modulprüfung | Prüfungsdauer: 90 min | Wichtung: 33.33%
in "Mikrosystemtechnik"

alternative Prüfungsleistung - Praktikum und Belegarbeit
Modulprüfung | Wichtung: 66.67%
in "Mikrosystemtechnik"

Medienform
Keine Angabe
Lehrinhalte/Gliederung
  • Einführung in die MST - Geschichte und Perspektiven, Skalen, Begriffsbildung
  • Werkstoffe in der MST - Silizium, Kunststoffe, Gläser
  • Labore für die MST - Reinräume, Produktionsstätten
  • Herstellungsverfahren - Vakuumtechnologie, Dünnschichtechnologie, Lithographieverfahren, Ätztechniken, Replikationstechniken, Aufbau- und  Verbindungstechnik
  • Mess- und Prüfverfahren
  • Anwendungen und Praxis
Qualifikationsziele

(I)    Die Studierenden erwerben Kompetenzen auf dem Gebiet Mikrotechnik zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Fertigungsprozesse. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basistechnologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben und Verständniskontrollen überprüft und gefestigt.

(II)   Die Studierenden lernen in diesem Modul, sich in aktuelle wissenschaftlich technische Themen einzuarbeiten und diese in Form einer Präsentation von ca. 30 Minuten Dauer vorzustellen.

(III)  Die Studierenden sollen übliche Herstellungsverfahren in der Mikrotechnologie kennenlernen und anwenden. Die Studierenden erwerben die entsprechenden Fähigkeiten in der experimentellen Arbeit und in der Auswertung der Ergebnisse. Studierende erwerben die Kompetenz im Umgang mit elektronischen Laborbüchern.  

Besondere Zulassungsvoraussetzung

keine

Empfohlene Voraussetzungen
Keine Angabe
Fortsetzungsmöglichkeiten
Keine Angabe
Literatur
  • Ehrfeld, W., & Bähr, J. (2002). Handbuch Mikrotechnik. Hanser
  • Mescheder, U. (2010). Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen. Teubner
  • Globisch, S. (2011). Lehrbuch Mikrotechnologie: Für Ausbildung, Studium und Weiterbildung. Hanser
  • Büttgenbach, S. (2016). Mikrosystemtechnik: Vom Transistor zum Biochip. Springer
  • Gerlach, G., & Dötzel, W. (2006). Einführung in die Mikrosystemtechnik. Hanser 
Hinweise
Keine Angabe