PTI03200 – Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen

Modul
Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen
Physical Process Engineering for the Functionalization of Surfaces
Modulnummer
PTI03200
Version: 1
Fakultät
Physikalische Technik / Informatik
Niveau
Bachelor/Diplom
Dauer
1 Semester
Turnus
Sommersemester
Modulverantwortliche/-r

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen"

Prof. Dr. Maik Fröhlich
Maik.Froehlich(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen"

Lehrsprache(n)

Deutsch
in "Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen"

ECTS-Credits

6.00 Credits

Workload

180 Stunden

Lehrveranstaltungen

5.00 SWS (1.00 SWS Praktikum | 4.00 SWS Vorlesung mit integr. Übung / seminaristische Vorlesung)

Selbststudienzeit

105.00 Stunden
105.00 Stunden Selbststudium - Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen

Prüfungsvorleistung(en)

Praktikumstestat
in "Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen"

Prüfungsleistung(en)

mündliche Prüfungsleistung -
Modulprüfung | Prüfungsdauer: 30 min | Wichtung: 100%
in "Physikalische Technologien zur Funktionalisierung von Oberflächen"

Medienform
Keine Angabe
Lehrinhalte/Gliederung

Lehreinheit Plasmatechnik: Was ist ein Plasma?, Eigenschaften und Kenngrößen, Elementarprozesse im Plasma, Ein- und Vielteilchenbild, Entladungsformen und Plasmaquellen (Niederdruck, Amosphärendruck, Hochdruck), Plasma/Oberflächen-Wechselwirkung, Randschicht, Anwendungsfelder

Lehreinheit Dünnschichttechnik: Aufdampfen im Hochvakuum, Plasmagestützte Schichtabscheidung, Ionenzerstäuben von Festkörpern, Ionenstrahlgestützte Verfahren, Chemische Abscheidung aus der Gasphase, Schichtmesstechnik, Ausgewählte Dünnschichtanwendungen

Praktikum: Praktikumsversuche zur Plasma- und Dünnschichttechnik

Qualifikationsziele

Die Studierenden erlangen Grundkenntnisse über die Erzeugung und Anwendung energiereicher Teilchen, die sie für das Verständnis zahlreicher Technologien (Mikrosystemtechnik, Dünnschichttechnologie, Plasmatechnologie, Oberflächenanalytik usw.) benötigen. Durch diese Kenntnisse sind sie im besonderen Maße befähigt, in FuE-Teams sowie in Produktionsbereichen an der Umsetzung neuer Verfahren und Applikationen im Hochtechnologiebereich mitzuwirken. Weiterhin erhalten die Studierenden Einblicke in die verschiedenen Methoden der Herstellung und Anwendung dünner Schichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen, Bauteilen und Gebrauchsgegenständen sowie der Erzeugung spezieller Strukturen in der Mikro- und Nanotechnologie. Im Praktikum trainieren sie die Teamarbeit und erlangen Fertigkeiten und praktische Erfahrungen im Umgang mit moderner Anlagentechnik zur Schichtabscheidung und im Umgang mit Methoden der Schichtcharakterisierung.

Sozial- und Selbstkompetenzen
Keine Angabe
Besondere Zulassungsvoraussetzung

keine

Empfohlene Voraussetzungen

Grundkenntnisse zur Experimentalphysik

Fortsetzungsmöglichkeiten
Keine Angabe
Literatur

Blasek, Bräuer: Vakuum, Plasma, Technologien - Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen, Eugen G. Leuze Verlag KG, 2010

Kienel, Röhl, Frey, Vakuumbeschichtung 1 bis 5, VDI-Verlag, 1993-95

Franz, Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen, Springer-Verlag, 1994

Hinweise
Keine Angabe