PTI04250 – Physikalische Verfahrenstechnik

Modul
Physikalische Verfahrenstechnik
Physical Process Engineering
Modulnummer
PTI04250
Version: 1
Fakultät
Physikalische Technik / Informatik
Niveau
Bachelor
Dauer
1 Semester
Turnus
Sommersemester
Modulverantwortliche/-r

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Physikalische Verfahrenstechnik"

Prof. Dr. Maik Fröhlich
Maik.Froehlich(at)fh-zwickau.de
Dozent/-in in: "Physikalische Verfahrenstechnik"

Lehrsprache(n)

Deutsch
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

ECTS-Credits

8.00 Credits

Workload

240 Stunden

Lehrveranstaltungen

7.00 SWS (1.00 SWS Praktikum | 6.00 SWS Vorlesung mit integr. Übung / seminaristische Vorlesung)

Selbststudienzeit

135.00 Stunden
135.00 Stunden Selbststudium - Physikalische Verfahrenstechnik

Prüfungsvorleistung(en)

Praktikumstestat
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

Prüfungsleistung(en)

mündliche Prüfungsleistung
Modulprüfung | Prüfungsdauer: 30 min | Wichtung: 100%
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

Medienform
Keine Angabe
Lehrinhalte/Gliederung

Lehreinheit Plasmatechnik: Was ist ein Plasma?, Eigenschaften und Kenngrößen, Elementarprozesse im Plasma, Ein- und Vielteilchenbild, Entladungsformen und Plasmaquellen (Niederdruck, Atmosphärendruck, Hochdruck), Plasma/Oberflächen-Wechselwirkung, Randschicht, Anwendungsfelder

Lehreinheit Dünnschichttechnik: Aufdampfen im Hochvakuum, Plasmagestützte Schichtabscheidung, Ionenzerstäuben von Festkörpern, Ionenstrahlgestützte Verfahren, Chemische Abscheidung aus der Gasphase, Schichtmesstechnik, Ausgewählte Dünnschichtanwendungen

Lehreinheit Vakuumtechnik: Ideale und reale Gase, Phasenübergänge, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkungen, Vakuumerzeugung und Vakuummessung in den verschiedenen Druckbereichen, Evakuierungsprozess

Praktikumstestat: Praktikumsversuche zur Plasma- und Dünnschichttechnik

Qualifikationsziele

Die Studierenden erlangen Grundkenntnisse über die Erzeugung und Anwendung energiereicher Teilchen, die sie für das Verständnis zahlreicher Technologien (Mikrosystemtechnik, Dünnschichttechnologie, Plasmatechnologie, Oberflächenanalytik usw.) benötigen. Durch diese Kenntnisse sind sie im besonderen Maße befähigt, in FuE-Teams sowie in Produktionsbereichen an der Umsetzung neuer Verfahren und Applikationen im Hochtechnologiebereich mitzuwirken. Weiterhin erhalten die Studierenden Einblicke in die verschiedenen Methoden der Herstellung und Anwendung dünner Schichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen, Bauteilen und Gebrauchsgegenständen sowie der Erzeugung spezieller Strukturen in der Mikro- und Nanotechnologie. Im Praktikum trainieren sie die Teamarbeit und erlangen Fertigkeiten und praktische Erfahrungen im Umgang mit moderner Anlagentechnik zur Schichtabscheidung und im Umgang mit Methoden der Schichtcharakterisierung.

Besondere Zulassungsvoraussetzung

keine

Empfohlene Voraussetzungen

Grundkenntnisse zur Experimentalphysik

Fortsetzungsmöglichkeiten
Keine Angabe
Literatur

Blasek, Bräuer: Vakuum, Plasma, Technologien - Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen, Eugen G. Leuze Verlag KG, 2010

Kienel, Röhl, Frey, Vakuumbeschichtung 1 bis 5, VDI-Verlag, 1993-95

Franz, Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen, Springer-Verlag, 1994

Hinweise
Keine Angabe