PTI02270 – Vacuum, plasma and thin film technology

Module
Vacuum, plasma and thin film technology
Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnik
Module number
PTI02270
Version: 1
Faculty
Physikalische Technik / Informatik
Level
Bachelor
Duration
1 Semester
Semester
Summer semester
Module supervisor

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Lecturer(s)

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Course language(s)

German
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

ECTS credits

8.00 credits

Workload

240 hours

Courses

7.00 SCH (1.00 SCH Internship | 6.00 SCH Lecture with integrated exercise / seminar-lecture)

Self-study time

135.00 hours
135.00 hours Self-study - Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik

Pre-examination(s)

Praktikumstestat
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

Examination(s)

mündliche Prüfungsleistung
Module examination | Examination time: 30 min | Weighting: 100%
in "Vakuum-,Plasma- und Beschichtungstechnik"

Media type
No information
Instruction content/structure

Lehreinheit Plasmatechnik: DC-Niederdruckplasmen, Kenngrößen und Eigenschaften von Plasmen, kinetische Koeffizienten der Ladungsträger, RF- und Mikrowellenplasmen, Erzeugung und Anwendung von Elektronen- und Ionenstrahlen, Plasmaoberflächenbehandlung, Plasmalichttechnik

Lehreinheit Dünnschichttechnik: Aufdampfen im Hochvakuum, Plasmagestützte Schichtabscheidung, Ionenzerstäuben von Festkörpern, Ionenstrahlgestützte Verfahren, Chemische Abscheidung aus der Gasphase, Schichtmesstechnik, Ausgewählte Dünnschichtanwendungen

Lehreinheit Vakuumtechnik: Ideale und reale Gase, Phasenübergänge, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkungen, Vakuumerzeugung und Vakuummessung in den verschiedenen Druckbereichen, Evakuierungsprozess

Praktikumstestat: Praktikumsversuche zur Plasma- und Dünnschichttechnik

Qualification objectives

Der Studierende erlangt Grundkenntnisse über die Erzeugung und Anwendung energiereicher Teilchen, die er für das Verständnis zahlreicher Technologien (Mikrosystemtechnik, Dünnschichttechnologie, Plasmatechnologie, Lichttechnik, Oberflächenanalytik usw.) benötigt. Durch diese Kenntnisse ist er im besonderen Maße befähigt, in FuE-Teams sowie in Produktionsbereichen an der Umsetzung neuer Verfahren und Applikationen im Hochtechnologiebereich mitzuwirken. Weiterhin erhält er Einblicke in die verschiedenen Methoden der Herstellung und Anwendung dünner Schichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen, Bauteilen und Gebrauchsgegenständen sowie der Erzeugung spezieller Strukturen in der Mikro- und Nanotechnologie. Im Praktikum trainiert er die Teamarbeit und erlangt Fertigkeiten und praktische Erfahrungen im Umgang mit moderner Anlagentechnik zur Schichtabscheidung und im Umgang mit Methoden der Schichtcharakterisierung.

Special admission requirements

keine

Recommended prerequisites

Grundkenntnisse zur Experimentalphysik

Continuation options
No information
Literature

Kienel/Röhl/Frey, Vakuumbeschichtung 1 bis 5, VDI-Verlag, 1993-95

Franz, Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen, Springer-Verlag, 1994

Notes
No information