ELT01110 – Microsystems Technology (MST/MEMS)

Module
Microsystems Technology (MST/MEMS)
Mikrosystemtechnik
Module number
ELT01110
Version: 1
Faculty
Electrical Engineering
Level
Bachelor/Diploma
Duration
1 Semester
Semester
Summer and Winter semester
Module supervisor

Prof. Dr. Robert Täschner
Robert.Taeschner(at)fh-zwickau.de

Lecturer(s)

Prof. Dr. Jürgen Grimm
J.Grimm(at)fh-zwickau.de
Lecturer in: "Mikrosystemtechnik"

Prof. Dr. Robert Täschner
Robert.Taeschner(at)fh-zwickau.de
Lecturer in: "Mikrosystemtechnik"

Course language(s)

German - 80.00%
in "Mikrosystemtechnik"

English - 20.00%
in "Mikrosystemtechnik"

ECTS credits

4.00 credits

Workload

120 hours

Courses

3.00 SCH (3.00 SCH Lecture with integrated exercise / seminar-lecture)

Self-study time

75.00 hours
25.00 hours Recherchearbeit - Mikrosystemtechnik
50.00 hours Self-study - Mikrosystemtechnik

Pre-examination(s)
None
Examination(s)

schriftliche Prüfungsleistung -
Module examination | Examination time: 90 min | Weighting: 100%
in "Mikrosystemtechnik"

Media type
No information
Instruction content/structure

Bedeutung und Inhalte der Mikrosystemtechnik; Werkstoffe der Mikrosystemtechnik, Silizium, Technologie: Reinraum/Reinraumtechnik, Notwendigkeit der Reinraumtechnik, Klassifizierung von Reinräumen, Aufbau von Reinräumen, Partikelkontamination; Einführung in technologische Verfahren in der Mikrosystemtechnik bzw. Halbleiterindustrie: Lithographie, Dünnschichttechnik, Dotierung, Ätztechnik, LIGA, Aufbau- und Verbindungstechnik Anforderungen an Mikrosysteme, messtechnische Eigenschaften von Sensor- und Mikrosystemen, Differentialstruktur bei der Messwertaufnahme, Anwendungen der Mikrosystemtechnik: Grundsätzliches Drucksensoren mit piezoresistiver Signalwandlung, Beschleunigungssensorik: Prinzip der Beschleunigungsmessung, Formen der Signalwandlung, Ausführungsformen, Herstellung von Druck- und Beschleunigungssensoren

Qualification objectives

Die Studierenden erlangen wissenschaftlich-technische Grundkenntnisse auf dem Gebiet der Mikrotechnologie zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Sie besitzen Kenntnisse über die Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Basistechnologien wie auch über deren Anwendungsfelder. Die Kenntnisse werden an folgenden Beispielen vertieft: Drucksensoren (Si-Volumenmikromechanik), Beschleunigungs- und Drehratensensoren (Si-Oberflächenmikromechanik) und thermischen Beschleunigungssensoren (CMOS-Technologie). Die Lehrinhalte werden durch Übungsaufgaben, Verständniskontrollen und anwendungsorientierte Prozessfragestellungen überprüft und gefestigt.

Social and personal skills
No information
Special admission requirements

keine

Recommended prerequisites
No information
Continuation options
No information
Literature

Literatur zum Selbststudium: Mikrosystemtechnik. Konzepte und Anwendungen, Ulrich Mescheder, 2. Auflage, Stuttgart 2004

Notes
No information