PTI04250 – Physical Process Engineering

Module
Physical Process Engineering
Physikalische Verfahrenstechnik
Module number
PTI04250
Version: 1
Faculty
Physikalische Technik / Informatik
Level
Bachelor
Duration
1 Semester
Semester
Summer semester
Module supervisor

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de

Lecturer(s)

Prof. Dr. Stefan Braun
Stefan.Braun(at)fh-zwickau.de
Lecturer in: "Physikalische Verfahrenstechnik"

Prof. Dr. Maik Fröhlich
Maik.Froehlich(at)fh-zwickau.de
Lecturer in: "Physikalische Verfahrenstechnik"

Course language(s)

German
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

ECTS credits

8.00 credits

Workload

240 hours

Courses

7.00 SCH (1.00 SCH Internship | 6.00 SCH Lecture with integrated exercise / seminar-lecture)

Self-study time

135.00 hours
135.00 hours Self-study - Physikalische Verfahrenstechnik

Pre-examination(s)

Praktikumstestat
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

Examination(s)

mündliche Prüfungsleistung
Module examination | Examination time: 30 min | Weighting: 100%
in "Physikalische Verfahrenstechnik"

Media type
No information
Instruction content/structure

Lehreinheit Plasmatechnik: Was ist ein Plasma?, Eigenschaften und Kenngrößen, Elementarprozesse im Plasma, Ein- und Vielteilchenbild, Entladungsformen und Plasmaquellen (Niederdruck, Atmosphärendruck, Hochdruck), Plasma/Oberflächen-Wechselwirkung, Randschicht, Anwendungsfelder

Lehreinheit Dünnschichttechnik: Aufdampfen im Hochvakuum, Plasmagestützte Schichtabscheidung, Ionenzerstäuben von Festkörpern, Ionenstrahlgestützte Verfahren, Chemische Abscheidung aus der Gasphase, Schichtmesstechnik, Ausgewählte Dünnschichtanwendungen

Lehreinheit Vakuumtechnik: Ideale und reale Gase, Phasenübergänge, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkungen, Vakuumerzeugung und Vakuummessung in den verschiedenen Druckbereichen, Evakuierungsprozess

Praktikumstestat: Praktikumsversuche zur Plasma- und Dünnschichttechnik

Qualification objectives

Die Studierenden erlangen Grundkenntnisse über die Erzeugung und Anwendung energiereicher Teilchen, die sie für das Verständnis zahlreicher Technologien (Mikrosystemtechnik, Dünnschichttechnologie, Plasmatechnologie, Oberflächenanalytik usw.) benötigen. Durch diese Kenntnisse sind sie im besonderen Maße befähigt, in FuE-Teams sowie in Produktionsbereichen an der Umsetzung neuer Verfahren und Applikationen im Hochtechnologiebereich mitzuwirken. Weiterhin erhalten die Studierenden Einblicke in die verschiedenen Methoden der Herstellung und Anwendung dünner Schichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen, Bauteilen und Gebrauchsgegenständen sowie der Erzeugung spezieller Strukturen in der Mikro- und Nanotechnologie. Im Praktikum trainieren sie die Teamarbeit und erlangen Fertigkeiten und praktische Erfahrungen im Umgang mit moderner Anlagentechnik zur Schichtabscheidung und im Umgang mit Methoden der Schichtcharakterisierung.

Special admission requirements

keine

Recommended prerequisites

Grundkenntnisse zur Experimentalphysik

Continuation options
No information
Literature

Blasek, Bräuer: Vakuum, Plasma, Technologien - Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen, Eugen G. Leuze Verlag KG, 2010

Kienel, Röhl, Frey, Vakuumbeschichtung 1 bis 5, VDI-Verlag, 1993-95

Franz, Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen, Springer-Verlag, 1994

Notes
No information